真空泵是一种装置，其从密封体积除去气体分子，三叶型罗茨真空泵以便留下部分后面真空。泵可以根据三种技能进行大致分类容积式泵使用一种机制来反复膨胀空腔，允许气体从腔室流入，密封空腔，并将其排放到中。动量传递泵，也称为分子泵，使用高速稠密流体或高速旋转叶片将气体分子撞出腔室。诱捕泵捕获固体或吸附状态的气体。这包括低温泵，吸气剂和离子泵。正排量泵对于低真空是有成效的。动量传输泵与一个或两个正排量泵配合使用是实现高真空的常见配置。在这种配置中，正排量泵有两个目的。在动量传递泵可用于获得高真空之前，它在被抽空的容器中获得粗真空，因为动量传递泵不能在压下开始泵送。其次，正排量泵通过将真空泵中的置换分子的积聚抽空到低真空来支撑动量传递泵。可以添加诱捕泵以达到比较高真空，但是它们需要定期捕获空气分子或离子的表面。由于这种要求，它们在低真空和高真空中的可用操作时间可能短得令人无法接受，因此限制了它们在比较高高真空中的使用。