泵的细节也不同,如制造公差,密封材料,压力,流量,进气或不允许油蒸汽,维修间隔,靠谱性,灰尘耐受性,化学品耐受性,液体耐受性和振动。三叶型罗茨真空泵可以通过增加容器的体积来产生部分真空。为了在不需要生长的情况下继续抽空腔室,可以重复地关闭,排出和再次膨胀真空室。这是正排量泵的原理,例如手动水泵。在泵里面,一个机构扩展了一个小的密封腔,以将其压力减少到力以下。由于压力差,来自腔室(或在我们的示例中的井)中的一些流体被推入泵的小腔中。然后将泵的腔体与腔室密封,向开放,并挤回到微小尺寸。橡胶和塑料密封的活塞泵系统的基础压力通常为1至50 kPa,而涡旋泵可能达到10 Pa(新的时候),带有清洁且空的金属腔的旋转叶片油泵可达到0.1霸。正排量真空泵在每个中移动相同体积的气体,因此其泵送速度是恒定的,除非通过回流克服。在动量传递泵中,气体分子从真空侧加速到排气侧(通常通过正排量泵保持在减压下)。动量传递泵送可在约0.1kPa的压力下进行。根据流体动力学定律,物质在不同压力下的流动方式不同。在压力和温和的真空下,分子相互作用并以所谓的粘性流动推动其相邻分子。当分子之间的距离增加时,分子与腔室的壁相比与其他分子相比比较频繁地相互作用,并且分子泵送变得比正位移泵送有成效。这种制度通常被称为高真空。
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